電磁閥膜片為圓形膜狀的彈性敏感元件。當膜片的兩面受到不同的壓力（或力）的作用時(shí)，膜片向壓力低的一面應變移動(dòng)，使其中心產(chǎn)生與壓力差成相對關(guān)系的位移。膜片的形式主要有平膜片、垂鏈式膜片和波紋膜片三種。平膜片又可按周邊是否固定支撐、中心是否開(kāi)孔以及膜片區域受力分布狀況的不同等分為多種形式，其中較常用的是由周邊固定的等截面圓形薄板構成的平膜片。垂鏈式膜片由靠近邊緣處開(kāi)槽的圓板構成，其彈性應變主要發(fā)生在邊緣環(huán)形槽處，常用這種膜片壓縮應變管或柱來(lái)達到測壓目的。垂鏈式膜片的硬中心部分在受壓移動(dòng)時(shí)接近平移，因此用于電容式傳感器或壓電式傳感器效果較好。波紋膜片壓有環(huán)狀同心波紋。為了增加膜片中心的位移可把兩個(gè)膜片焊在一起制成膜盒或進(jìn)一步把數個(gè)膜盒串接成膜盒組。